在真空物理(vacuum physics)的研究範疇裡，完美的超高真空(ultra-highvacuum)，
簡稱UHV ，一直是研究真空物理的人努力的目標，而超高真空系統的度量(measureme
nt of UHV)是我們在超高真空裡所遇到的幾個大問題之一。
傳統度量超高真空的方法為熱陰極離子化真空計(hot cathode ionizationgauge)[2]
，其操作原理為利用加速的電子撞擊氣體分子，使氣體游離成離子，收集離子即可標
定真空度。
而影響這種熱陰極離子化真空計度量超高真空的因素，主要是由於加速電子撞擊電子
加速極(electron accleration grid) 所引發的柔和(Soft X-ray)，這柔和(Soft X-
ray)打到離子收集極(ion collector) 所引發的光電效應(photo-electric effects)
造成一虛假離子電流(virtual ion current) ，這一虛假離子電流，正是此一度量超
高真空方法的極限[1] 。
本研究主要為利用改良的方法，用以來減少柔和X-光光電效應。此一方法主要是將離
子收集極(ion collector) 置於柔和X-光所無法直接照射的地方，其操作原理為利用
一離子引出極(ion extraction grid) 將離子引出電子加速極外，再利用一離子偏折
板(ion deflection plate)將離子偏折到柔和X-光所無法直接照射的離子收集極。
實驗結果發現本研究所採用的新方法相當成功，不僅能有效地減少柔和X-光光電效應
(Soft X-ray photo-electric effects) 且對於超高真空的度量有限好的線性反應(l
inear response)。